@article{weko_75344_1,
   author	 = "金子,亮介 and 吉田,慎哉 and 室山,真徳 and 宮口,裕 and 江刺,正喜 and 田中,秀治",
   title	 = "素子分離された各領域に異なるオフセット電圧を与えるためのLSI絶縁分離・再配線プロセスの開発",
   journal	 = "【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会",
   year 	 = "2014",
   volume	 = "",
   number	 = "",
   month	 = "may"
}